SEM能對樣品表面和剖面(Micro Section)結構進行放大觀察,特別是失效樣品的微觀分析,同時對樣品表面進行EDS元素分析,可加速𨤸清失效現象的可能原因。
主要應用
- 針對各種材料表面微結構觀察

<表面錫晶格觀察>
- 元件組裝前後焊點表面錫鬚生長以及測量

<錫鬚(whisker)觀察及測量>
- 鍍層厚度測量
- 元件和焊點剖面金相結構觀察,如打線,孔洞,微裂和金屬化合物

<介金屬化合物(IMC)量測厚度>
- 材料元素分析(EDS)

<EDS分析異物元素>

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