超音波顯微鏡(SAT)是Scanning Acoustic Tomography 的簡稱,又稱為SAM (Scanning Acoustic Microscope)。此檢測為應用超音波於不同密度材料之反射速率及能量不同的特性來進行分析。
針對不同的樣品將選用適合的探頭,而德凱宜特擁有從低頻率 15Mhz到高頻率 230Mhz,甚至超音波頻率等各式類型的探頭。

檢測模式分為
1. 脈衝回波(Pulse Echo Method)
  • A-scan (超音波訊號)
  • B-scan (2D反射式剖面檢測 / 影像)
  • C-scan (2D反射式平面檢測 / 影像)
          
2. 透射(Through Transmission Method)
  • Through-scan (穿透式檢測 / 影像)


主要應用
對於元件封裝及層疊結構設計的材料(如電路板PCB),利用SAT的超音波原理檢測內部界面是否有脫層(delaminaiton)或裂縫(crack),目前約可以檢測到0.13 μm的微小間隙(gap);SAT可應用在以下分析需求:
  • 元件/電路板PCB失效分析
  • 元件封裝/電路板層疊結構品質驗證
  • 製程參數驗證(reflow heat damage)
  • 進料檢驗(IQC)或出貨抽檢(QC)

實際案例
 
<BGA封裝 Substrate脫層>
  

<TSOP 封裝 Die & Paddle & Lead 脫層>
 
<SAT T-Scan for bare PCB>

設備限制
SAT是利用超音波反射訊號來偵測異常點,故若表面粗糙或有氣泡存在,將會影響到結果的半段,故下圖這幾種組件較不適合利用SAT進行分析。

 

德凱宜特顧問團隊提供專業諮詢,讓所有在產品驗證上遇到的問題都能迎刃而解 PROBLEM SOLVED
 

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